Полуавтоматическая зондовая станция Terra-200 COAX
Полуавтоматическая зондовая станция Terra-200 COAX ЯЮКЛ.442241.002 предназначена для измерений и контроля электрических величин полупроводниковых пластин в автоматическом режиме, загрузка пластин осуществляется вручную. Станция применяется в качестве оснастки для измерений.
Наведите курсор на фото для увеличенияОсобенности:
- диаметр пластин до 200 мм;
- установка до 4 СВЧ микропозиционеров;
- гальваническая развязка столика;
- несколько вакуумных зон для удержания пластин различного диаметра;
- продвинутая оптическая система;
- отечественное ПО в комплекте.
- Зондовая станция «Terra-200 COAX» - 1 шт.
- Цифровой микроскоп - 1 шт.
- Манипулятор для СВЧ измерений - 2 шт.
- Манипулятор для DC измерений - 2 шт.
- ПО ProMeas Lite.
- вакуумный насос;
- манипулятор для СВЧ измерений;
- манипулятор для DC измерений;
- комплекс ПО ICCreatech.
Технические характеристики
| Наименование параметра,
единицы измерений | Норма параметра |
| Диаметр столика
| 210 мм
|
| Максимальный диаметр пластин
| 200 мм (8 дюймов)
|
| Общее перемещение по XY
| 220 х 220 мм
|
| Точность позиционирования по XY
| 3 мкм
|
| Моторизированные оси
| XYZT + XY микроскоп
|
| Угол поворота столика
| 10 градусов
|
| Конструкция
| Гальванически изолированный
столик |
| Изоляция
| > 5 ГОм
|
| Количество одновременно
устанавливаемых микропозиционеров | 4 |
| Габариты
| 720х700х600 мм
|
| Масса | 150 кг |
Базовый комплект поставки:
Дополнительные опции:
Эксплуатационные ограничения
Станция предназначена для эксплуатации в макроклиматических условиях с умеренным и холодным климатом в лабораторных помещениях при температуре окружающей среды от 0 °С до 40 °С при влажности от 30% до 85%.
Не допускается попадание прямых солнечных лучей и нагревание станции свыше 60 °С.
Предприятие-изготовитель не несет ответственности за последствия неправильной эксплуатации, нарушения правил безопасности и несоблюдения прочих необходимых мер предосторожности.
