Ручная зондовая станция OmegaAir-150COAX
Ручная зондовая станция Omega Air - 150 COAX предназначена для измерений и контроля электрических величин полупроводниковых пластин в лабораторных помещениях. Станция применяется в качестве оснастки для измерений.
Наведите курсор на фото для увеличенияОсобенности:
- диаметр пластин до 150 мм;
- установка до 4 микропозиционеров;
- быстрое позиционирование на пластине с минимальными усилиями;
- удобное интуитивно понятное управление;
- три фиксированных положения для удобства загрузки пластины, её позиционирования и контактирования с образцом;
- гальваническая развязка столика;
- малые габариты.
Технические характеристики
| Наименование параметра, единицы измерений | Норма параметра |
| Диаметр столика | 160 |
| Максимальный диаметр пластин | 150 мм (6 дюймов) |
| Общее перемещение по XY | 195 х 215 мм |
| Точное перемещение по XY
| 25 x 25 мм (микрометрический
винт) |
| Угол поворота столика
| ± 10 градусов
|
| Конструкция
| Гальванически изолированный
столик |
| Изоляция
| > 5 ГОм
|
| Подъем стола, мм, не менее | Перемещение – 0,2;
Загрузка пластины – 2,0 |
| Угол поворота стола, градус, не менее | ±5 |
| Количество одновременно
устанавливаемых микропозиционеров | 4
|
| Габариты
| 460х450х480 мм
|
| Масса
| 45-50 кг
|
Базовый комплект поставки:
- Зондовая станция «OmegaAir-150COAX» - 1 шт.
- Бинокулярный микроскоп «Альтами CM0655-T» - 1 шт.
- Манипулятор для DC измерений - 2 шт.
- Руки для DC держателей (в коаксиальном исполнении) - 4 шт.
Дополнительные опции:
- модель микроскопа по желанию заказчика;
- вакуумный насос;
- поставка программно-аппаратного комплекса на основе зондовой станции и любых известных измерительных приборов.
Эксплуатационные ограничения
Станция предназначена для эксплуатации в макроклиматических условиях с умеренным и холодным климатом в лабораторных помещениях при температуре окружающей среды от 0 °С до 40 °С при влажности от 30% до 85%.
Не допускается попадание прямых солнечных лучей и нагревание станции свыше 60 °С.
Предприятие-изготовитель не несет ответственности за последствия неправильной эксплуатации, нарушения правил безопасности и несоблюдения прочих необходимых мер предосторожности.
