Полуавтоматическая зондовая станция Terra-200T
Станция предназначена для измерений и контроля электрических характеристик устройств на неразделенных полупроводниковых пластинах в автоматическом режиме, загрузка пластин осуществляется вручную. Для управления полуавтоматической станцией в комплект поставки входит Российское программное обеспечение.
Наведите курсор на фото для увеличенияОсобенности:
- диаметр пластин до 200 мм;
- установка до 8 микропозиционеров;
- гальваническая развязка столика;
- настольное исполнение;
- продвинутая оптическая система;
- несколько вакуумных зон для удержания пластин разного диаметра;
- отечественное ПО в комплекте.
Технические характеристики
|
Наименование параметра, единицы измерений |
Норма параметра |
|
Диаметр держателя полупроводниковых пластин |
210 мм |
|
Максимальный размер пластины для измерений |
200 мм |
|
Тип привода держателя полупроводниковых пластин |
моторизованный |
|
Угол поворота держателя полупроводниковых пластин |
±10° |
|
Измерения |
по постоянному току, СВЧ |
|
Измерения параметров полупроводниковых приборов в диапазоне температур |
от -55°С до +150°С |
|
Напряжение питания |
230 В (50 Гц) |
|
Габаритные размеры (высота, ширина, глубина) |
650х750х750 мм |
|
Масса |
не более 180 кг |
|
Гарантия на изделие |
от 1 года |
| Срок службы | 5 лет |
Базовый комплект поставки:
- цифровой микроскоп;
- оптоволоконный источник света;
- насос поршневой вакуумный;
- персональный компьютер;
- программное обеспечение для управления зондовой станцией ICC ProMeas.
Дополнительные опции:
- микропозиционеры ХР131М;
- микропозиционеры AS101A;
- микропозиционеры AX131K;
- аксессуары СВЧ тракта.
Эксплуатационные ограничения
Станция предназначена для эксплуатации в макроклиматических условиях с умеренным и холодным климатом в лабораторных помещениях.
Не допускается попадание прямых солнечных лучей и нагревание станции свыше 60 °С.
Предприятие-изготовитель не несет ответственности за последствия неправильной эксплуатации, нарушения правил безопасности и несоблюдения прочих необходимых мер предосторожности.
Проект реализован при поддержке Минпромторга России
